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发明名称 POLISHING SURFACE TEACHING METHOD FOR POLISHING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08339219(A) 申请公布日期 1996.12.24
申请号 JP19950146621 申请日期 1995.06.13
申请人 DAIKIN IND LTD 发明人 KAWADA KENICHI
分类号 B24B51/00;G05B19/4097;G05B19/4103;(IPC1-7):G05B19/410;G05B19/409 主分类号 B24B51/00
代理机构 代理人
主权项
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