发明名称 Vorrichtung zum Beschichten von Bauteilen bzw. Formteilen durch Kathodenzerstäubung
摘要
申请公布号 DE4123274(C2) 申请公布日期 1996.12.19
申请号 DE19914123274 申请日期 1991.07.13
申请人 BALZERS UND LEYBOLD DEUTSCHLAND HOLDING AG, 63450 HANAU, DE 发明人 DAUBE, CHRISTOPH, 60316 FRANKFURT, DE;KOPACZ, UWE, DR., 63512 HAINBURG, DE;SCHULZ, SIEGFRIED, DR., 63454 HANAU, DE
分类号 C23C14/35;C23C14/34;H01J37/34;(IPC1-7):H01J37/34 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利