发明名称 SISTEMA CONTINUO DI EVAPORAZIONE CON OSSIDAZIONE ASSISTITA DA PLASMA, PER DEPOSITARE SOTTO VUOTO OSSIDI DI METALLI SU PELLICCE PLASTICHE
摘要
申请公布号 ITFI950136(A1) 申请公布日期 1996.12.19
申请号 IT1995FI00136 申请日期 1995.06.19
申请人 GALILEO VACUUM TEC S.P.A. 发明人 FUSI ANDREA
分类号 C23C14/00;C23C14/56 主分类号 C23C14/00
代理机构 代理人
主权项
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