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发明名称 Verfahren zum Herstellen eines Indium/Zinn-Oxid-Targets
摘要
申请公布号 DE4037733(C2) 申请公布日期 1996.12.19
申请号 DE19904037733 申请日期 1990.11.27
申请人 JAPAN ENERGY CORP., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 NAKAJIMA, KOICHI, KITAIBARAKI, IBARAKI, JP;SATO, NORIAKI, KITAIBARAKI, IBARAKI, JP
分类号 C04B35/00;C04B35/01;C04B35/645;C23C14/34;(IPC1-7):C04B35/00;C04B35/64;C23C14/08 主分类号 C04B35/00
代理机构 代理人
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