Vorrichtung zum Ionisieren von Metallen hoher Schmelzpunkte verwendbar in mit Freeman oder ähnlichen Ionenquellen ausgerüstete Ionenimplantierungsgeräte
摘要
申请公布号
DE69123062(D1)
申请公布日期
1996.12.19
申请号
DE19916023062
申请日期
1991.01.15
申请人
CONSORZIO PER LA RICERCA SULLA MICROELETTRONICA NEL MEZZOGIORNO, CATANIA, IT
发明人
RASPAGLIESI, MARIO, I-95037 SAN GIOVANNI LA PUNTA, IT;MEDULLA, CANDIDO, I-95039 TRECASTAGNI (CATANIA), IT
