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发明名称
摘要
申请公布号
JP2565440(B2)
申请公布日期
1996.12.18
申请号
JP19910280851
申请日期
1991.09.30
申请人
SHINETSU HANDOTAI KK;NAGANO DENSHI KOGYO KK
发明人
NAKAZATO YASUAKI;KANDA TAKAHIRO;UCHAMA ATSUO
分类号
H01L27/12;H01L21/02;(IPC1-7):H01L27/12
主分类号
H01L27/12
代理机构
代理人
主权项
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