发明名称 PROCESS FOR PRODUCING LAYERS OF CUBIC BORON NITRIDE
摘要
申请公布号 EP0748395(A1) 申请公布日期 1996.12.18
申请号 EP19950911214 申请日期 1995.03.03
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. 发明人 LUETHJE, HOLGER, DIPL.-ING.;BEWILOGUA, KLAUS, DR.;DAAUD, SIMONE, DIPL.-ING.
分类号 C23C14/00;C23C14/06;C23C14/34;(IPC1-7):C23C14/06 主分类号 C23C14/00
代理机构 代理人
主权项
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