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发明名称
PROCESS FOR PRODUCING LAYERS OF CUBIC BORON NITRIDE
摘要
申请公布号
EP0748395(A1)
申请公布日期
1996.12.18
申请号
EP19950911214
申请日期
1995.03.03
申请人
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
发明人
LUETHJE, HOLGER, DIPL.-ING.;BEWILOGUA, KLAUS, DR.;DAAUD, SIMONE, DIPL.-ING.
分类号
C23C14/00;C23C14/06;C23C14/34;(IPC1-7):C23C14/06
主分类号
C23C14/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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