Method and device for controlling the electrical current density over a workpiece during heat treatment by plasma

摘要

Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Steuerung der elektrischen stromdichte über einem Werkstück bei der Wärmebehandlung im Plasma unter Verwendung einer Hilfselektrode. Damit ohne vorherige Berechnung der Chargenoberfläche FCH reproduzierbare Werte für die Stromdichte erzielt werden können, wird vorgeschlagen, daß in einem ersten Verfahrensschritt in einem neutralen Plasma unter Zuhilfenahme der Hilfselektrode 9 der Gesamtstrom IG im Ofen 1 sowie der Strom IHE über die Hilfselektrode 9 gemessen werden und aus diesen Werten sowie der bekannten Oberfläche FHE der Hilfselektrode 9 die unbekannte Chargenoberfläche FCH berechnet wird. Anschließend wird die Hilfselektrode 9 über den Schalter 12 vom Plasmagenerator 5 abgekoppelt und das neutrale Gasplasma durch ein stoffübertragendes Plasma ersetzt. Aus der berechneten Chargenoberfläche FCH und dem gewünschten Stromdichte-Sollwert Jsoll wird anschließend die über den Regler 15 am Strommeßgerät 14 einzuregelnde Soll-Gesamtstromstärke IGsoll berechnet. <IMAGE>