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发明名称
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申请公布号 JP2564390(B2) 申请公布日期 1996.12.18
申请号 JP19890056492 申请日期 1989.03.10
申请人 HITACHI LTD 发明人 ARITA HIROSHI;SUZUKI KOJI;SUGAWARA HIROYUKI;KUROSAWA YUKIO
分类号 B01D59/34;H01H33/66;H01J17/56;H01J21/18;H01S3/097;H01T2/00;(IPC1-7):H01H33/66 主分类号 B01D59/34
代理机构 代理人
主权项
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