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发明名称
摘要
申请公布号
JP2564288(B2)
申请公布日期
1996.12.18
申请号
JP19870012330
申请日期
1987.01.23
申请人
发明人
分类号
H01L21/027;H01L21/225;H01L21/30;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/027
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
主权项
地址
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