SEMICONDUCTOR WAFER PROCESSING CVD REACTOR,申请号EP19930916504-传众专利搜索

发明名称	SEMICONDUCTOR WAFER PROCESSING CVD REACTOR
摘要
申请公布号	EP0644954(B1)	申请公布日期	1996.12.18
申请号	EP19930916504	申请日期	1993.06.11
申请人	MATERIALS RESEARCH CORPORATION	发明人	FOSTER, ROBERT, F.;REBENNE, HELEN, E.;LEBLANC, RENE, E.;WHITE, CARL, L.;ARORA, RIKHIT
分类号	C23C16/14;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/48;C23C16/54;H01J37/32;H01L21/00;H01L21/205;H01L21/31;H01L21/683;(IPC1-7):C23C16/14;H01L21/285	主分类号	C23C16/14
代理机构		代理人
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