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经营范围
发明名称
AIR BRIDGE STRUCTURE AND AIR BRIDGE FORMATION METHOD
摘要
申请公布号
JPH08335635(A)
申请公布日期
1996.12.17
申请号
JP19950168187
申请日期
1995.06.08
申请人
MURATA MFG CO LTD
发明人
WADA RYUICHIRO
分类号
C23F4/00;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/768;H01L21/320
主分类号
C23F4/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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