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发明名称
PROBE SYSTEM
摘要
申请公布号
JPH08335614(A)
申请公布日期
1996.12.17
申请号
JP19950166879
申请日期
1995.06.08
申请人
TOKYO ELECTRON LTD
发明人
ABE YUICHI
分类号
G01R31/26;G01R1/073;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66
主分类号
G01R31/26
代理机构
代理人
主权项
地址
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