| 发明名称 |
THIN FILM COMPONENT AND ITS MANUFACTURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08335561(A) |
申请公布日期 |
1996.12.17 |
| 申请号 |
JP19950139152 |
申请日期 |
1995.06.06 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
KAWANO HIROYASU;SASAKI MAKOTO |
| 分类号 |
H05K1/16;C23C14/35;C30B23/08;H01L21/203;H01L21/285;H01L21/31;H01L21/312;H01L21/316;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/285;H01L21/320 |
主分类号 |
H05K1/16 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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