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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08335606(A) 申请公布日期 1996.12.17
申请号 JP19950161399 申请日期 1995.06.05
申请人 NITTO DENKO CORP 发明人 TANIGAWA SATOSHI;IGARASHI KAZUMASA;NAGASAWA TOKU;YOSHIO NOBUHIKO;USUI HIDEYUKI;ITOU HISATAKA
分类号 H01L21/60;H01L21/603;H01L23/12;(IPC1-7):H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
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