| 发明名称 |
LIGHT QUANTITY CONTROL METHOD, LIGHT QUANTITY CONTROLLER AND EXPOSURE DEVICE USING THE SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08334904(A) |
申请公布日期 |
1996.12.17 |
| 申请号 |
JP19950141946 |
申请日期 |
1995.06.08 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
YOSHIMURA KEIJI;HASEGAWA TAKAYASU;KUROSAWA HIROSHI;OZAWA KUNITAKA |
| 分类号 |
G03F7/20;H01L21/027;H01S3/13;(IPC1-7):G03F7/20 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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