| 发明名称 |
ITO FILM SPUTTERING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08333678(A) |
申请公布日期 |
1996.12.17 |
| 申请号 |
JP19950137819 |
申请日期 |
1995.06.05 |
| 申请人 |
TEIJIN LTD |
发明人 |
KATAYAMA SHIGEO;HIKOSAKA TORU;TAMURA YUUJI |
| 分类号 |
C23C14/00;C23C14/08;C23C14/34;(IPC1-7):C23C14/34 |
主分类号 |
C23C14/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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