| 发明名称 |
ORGANIC MATTER REMOVING APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08335564(A) |
申请公布日期 |
1996.12.17 |
| 申请号 |
JP19950139233 |
申请日期 |
1995.06.06 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
SAKAI KIMITO;YOSHIDA TAKASHI;KOZUKA SHOJI |
| 分类号 |
C11D7/50;H01L21/304;H01L21/308;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
C11D7/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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