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发明名称
ELECTROLESS AU PLATING METHOD AND HOLE FILING METHOD USING THIS METHOD
摘要
申请公布号
JPH08335631(A)
申请公布日期
1996.12.17
申请号
JP19950140322
申请日期
1995.06.07
申请人
NEC CORP
发明人
SHIRAISHI YASUSHI
分类号
H01L21/288;C23C18/16;C23C18/44;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768
主分类号
H01L21/288
代理机构
代理人
主权项
地址
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