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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08335586(A) 申请公布日期 1996.12.17
申请号 JP19950139059 申请日期 1995.06.06
申请人 HITACHI LTD;HITACHI HARAMACHI SEMICONDUCTOR LTD 发明人 OHATA TOSHIBUMI;ARAKAWA HIDETOSHI;SUGAWARA YOSHITAKA;INABA MASAMITSU
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L21/8224;H01L27/082;H01L29/732;(IPC1-7):H01L21/331;H01L21/822 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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