| 主权项 |
1. 一附有钢瓶之气体供应系统,其特征为由第一、 二及 三阀界定之负压区,包括:一进给气体供应管线, 将进 给气体从一钢瓶引导至一消耗进给气体之器具, 一惰性 气体输入管线,将一惰性气体引导至该进给气体供 应管线 ,一第一阀与一第二阀设于该惰性气体输入管线 ,一 通风管路与该第一阀与该第二阀间之惰性气体输 入管线连 接,一第三阀设于该通风管线,与第一阀及第二 阀共同 形成一负压器,一流通气体之通风装置设于该通 风管线 ,及一压力侦测器设于该负压区内。2. 一附有钢 瓶之气体供应系统,其特征为由第一、二及 三阀界定之负压区,包括:许多装有进给气体之 钢瓶, 进给气体供应管线,分别将进给气体从该等钢瓶 引导至 一消耗进给气体之器具,及若干惰性气体输入管 线,将 惰性气体从一单独惰性气体供应源分别引导至该 等进给气 体供应管线,该气体供应系统包括:设于至少一 条该惰 性气体输入管线之一第一阀及一第二阀,一与位 于该第 一阀与第二阀间之惰性气体输入管线连接之通风 管线, 一设于该通风管线之第三阀,与该第一阀及第二阀 共同形 成一负压区,一设于通风管线使气体流通之通气 器具, 及一设于该负压区内之压力侦测器。3. 一附有 钢瓶之气体供应系统,其特征为由第一、二及 三阀界定之负压区,包括:一进给气体供应器内 容纳之 许多钢瓶,一装在该等钢瓶内之进给气体,进 给气体 供应管线,其分枝之上游部分分别与该等钢瓶相连 接,以 引导该进给气体从该等钢瓶中之某特定钢瓶供应 至一消耗 气体之器具,及若干惰性气体输入管线,以引导 一惰性 气体分别至该等进给气体供应管线之分枝上游部 分,该气 体供应系统包括:设于至少一条该惰性气体输入 管线之 一第一阀与一第二阀,一与位于该第一阀与第二 阀间之 该惰性气体输入管线连接之通风管线,一设于该 通风管 线之第三阀,与该第一阀及该第二阀共同形成一负 压区, 一设于通风管线使气体流通之通风器具,及一 设于该 负压区内之压力侦测器。4. 如申请专利范围第1.2 或3项附有钢瓶之气体供应系统 ,其特征为由第一、二及三阀界定之负压区,该惰 性气体 输入管线系一用以引导一冲洗气体至该进给气体 供应管线 之冲洗气体输入管线或一用以引导一气密检查气 体至该钢 瓶与气体供应管线之连接部分之气密检查气体输 入管线。5. 如申请专利范围第1.2或3项附有钢瓶之 气体供应系统 ,其特征为由第一、二及三阀界定之负压区,流入 负压区 之该进给气体或该惰性气体,系依照该压力侦测器 之侦测 ,藉助该通风器具流通。图示简单说明: 图1系显示本发明附有钢瓶之气体供应系统中一个 具体实 施例之示意图。 图2系显示本发明附有钢瓶之气体供应系统中一个 具体实 施例之示意图。 图3系显示本发明附有钢瓶之气体供应系统中第二 个具体 实施例之示意图。 图4系显示本发明附有钢瓶之气体供应系统中第三 个具体 实施例之示意图。 图5系显示本发明附有钢瓶之气体供应系统中第四 个具体 实施例之示意图。 图6系显示先前技艺所制附有钢瓶之气体供应系统 之示意 图。 图7系显示先前技艺所制附有钢瓶之气体供应系统 之示意 图。 图8系显示先前技艺所制另一附有钢瓶之气体供应 系统之 示意图。 图9系显示先前技艺所制附有钢瓶之气体供应系统 中问题 之示意图。 图10系显示先前技艺所制附有钢瓶之气体供应系 统中问题 之示意图。 图11系显示先前技艺所制附有钢瓶之气体供应系 统中问题 |
