发明名称 |
高频电磁场耦合的薄膜多层电极 |
摘要 |
由各对薄膜导体(21和22、22和23、23和24及24和25)构成多个TEM模式的传输线(L2-L5),各对薄膜导体通过交替地堆积薄膜导体(21至25)和薄膜介质(31至34)夹住各个薄膜介质(31-34)。使传播通过传输线(L2至L5)的至少二个的TEM模式波的相速度大体上彼此相等。各薄膜导体(21至25)的厚度小于使用频率的趋肤深度,以致使该TEM模式的传输线(L2-L5)中的至少二个TEM模式的传输线的电磁场互相耦合。采用这种方式可有效地增加趋肤深度,与常规电极相比,可显著减少导体损耗和表面电阻。这种电极可构成传输线、谐振器、滤波器和高频器件。 |
申请公布号 |
CN1137842A |
申请公布日期 |
1996.12.11 |
申请号 |
CN94193722.4 |
申请日期 |
1994.03.07 |
申请人 |
株式会社村田制作所 |
发明人 |
石川容平;日高青路 |
分类号 |
H01P3/18;H01P3/06;H01P3/08;H01P3/12;H01P7/08;H01P1/203;H01P1/20 |
主分类号 |
H01P3/18 |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 |
代理人 |
程天正;王忠忠 |
主权项 |
1.一种高频电磁场耦合型薄膜多层电极,其特征在于:交替地堆积薄膜导体(21-25)和薄膜介质(31-34)以层叠多个TEM模式的传输式(L2-L5),上述TEM模式的传输线(L2-L5)各包括一对上述的薄膜导体(21和22、22和23、23和24及24和25),在上述各对薄膜导体之间各插入上述的薄膜介质(31-34),其中使传播通过上述多个TEM模式的传输线(L2-L5)中的至少二个的TEM波的相速度大体上彼此相等,并使上述薄膜导体(21-25)的各自的一个膜厚度小于所使用的频率的趋肤深度,以致使上述多个TEM模式的传输线(L2-L5)中的至少二个的电磁场互相耦合。 |
地址 |
日本京都府 |