发明名称
摘要
申请公布号 JP2563315(B2) 申请公布日期 1996.12.11
申请号 JP19870074718 申请日期 1987.03.27
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 WASA KYOTAKA;SETSUNE KENTARO;ADACHI HIDEAKI;MITSUYU TSUNEO;HATSUTA SHINICHIRO
分类号 H01L39/12;C01G1/00;C01G3/00;C04B35/00;C04B35/45;C23C14/08;C23C14/34;C30B29/22;H01B12/06;H01B13/00 主分类号 H01L39/12
代理机构 代理人
主权项
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