激光加工装置

摘要

在本发明中，由能够弹性变形的材料制成的曲率可变反射器，利用由诸如空气之类的流体所提供的压力，响应于该流体压力变形为曲面镜，如此，可以高速步进地或平滑地改变入射会聚光学部件之激光束的直径。并且，根据工件的类型和厚度，通过步进或无级地控制流体压力，总可以用一个合适的激光束直径进行加工。

主权项

1.一种激光加工装置，通过用会聚光学部件聚焦由激光振荡器发射的激光束，进行诸如切割或焊接之类的加工，其特征在于包括：激光束反射件，根据在所述激光束的传递通道内设置的流体压力而弹性变形；反射件支承部，支承所述激光束反射件的周缘部分，并连同所述激光束反射件在相对激光束反射面的一面内限定一个空间；流体供给装置，将流体供给到由所述反射件支承部所限定的空间；以及流体释放装置，释放从所述反射件支承部所限定的空间流出的流体，其中，除了流体供应通道和流体释放通道以外，所述空间可密封，并将使所述激光束反射件作弹性变形所需的流体压力加到所述激光束反射表面。