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发明名称 Laser interferometer.
摘要
申请公布号 EP0668483(A3) 申请公布日期 1996.12.11
申请号 EP19950300817 申请日期 1995.02.09
申请人 RENISHAW PLC 发明人 CHANEY, RAYMOND JOHN;CHAPMAN, MARK ADRIAN VINCENT
分类号 G01B9/02;(IPC1-7):G01B9/02 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
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