发明名称 Positive-working radiation-sensitive mixture and recording material prepared therefrom
摘要
申请公布号 EP0417557(B1) 申请公布日期 1996.12.11
申请号 EP19900116608 申请日期 1990.08.30
申请人 HOECHST AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 PAWLOWSKI, GEORG, DR., DIPL.-CHEM.;MERREM, HANS JOACHIM, DR., DIPL.-CHEM.;LINGNAU, JUERGEN, DR., DIPL.-CHEM.;DAMMEL, RALPH, DR., DIPL.-CHEM.;ROESCHERT, HORST, DR. DIPL.-CHEM.
分类号 G03F7/039;G03F7/004;G03F7/016;G03F7/075;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03F7/004 主分类号 G03F7/039
代理机构 代理人
主权项
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