| 发明名称 |
PLASMA SURFACE MACHINING METHOD AND DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08323699(A) |
申请公布日期 |
1996.12.10 |
| 申请号 |
JP19950135247 |
申请日期 |
1995.06.01 |
| 申请人 |
TOSHIBA MACH CO LTD |
发明人 |
SAITO HIDEO;MIYANO YOSHINORI;NISHIHARA HIROMI |
| 分类号 |
B26F3/00;C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):B26F3/00;H01L21/306 |
主分类号 |
B26F3/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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