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发明名称 PRETREATMENT OF COMPOUND SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH08325100(A) 申请公布日期 1996.12.10
申请号 JP19950130896 申请日期 1995.05.30
申请人 NEC CORP 发明人 NIWA SHIGEKI
分类号 C30B23/08;C30B29/40;H01L21/02;H01L21/20;H01L21/203;(IPC1-7):C30B29/40 主分类号 C30B23/08
代理机构 代理人
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