| 发明名称 |
METHOD FOR GROWING DIAMOND FILM AND DEVICE THEREFOR |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH08325095(A) |
申请公布日期 |
1996.12.10 |
| 申请号 |
JP19950130203 |
申请日期 |
1995.05.29 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
SASAKI KENICHI;ITANI TSUKASA;KURIHARA KAZUAKI |
| 分类号 |
C30B29/04;C23C16/26;C23C16/27;C23C16/50;(IPC1-7):C30B29/04 |
主分类号 |
C30B29/04 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
