发明名称 ETCHING METHOD AND ARRANGING METHOD USED FOR THE SAME
摘要
申请公布号 JPH08325754(A) 申请公布日期 1996.12.10
申请号 JP19950157208 申请日期 1995.05.31
申请人 COPAL CO LTD 发明人 KASHIMURA TAKESHI
分类号 G03B7/20;C23F1/00;(IPC1-7):C23F1/00 主分类号 G03B7/20
代理机构 代理人
主权项
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