发明名称 SURFACE-TREATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08325759(A) 申请公布日期 1996.12.10
申请号 JP19950156968 申请日期 1995.05.30
申请人 ANELVA CORP 发明人 NAKAGAWA KOJIN
分类号 H05H1/46;B01J19/08;C23C16/50;C23F4/00;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31;(IPC1-7):C23F4/00;H01L21/306 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
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