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发明名称 Verfahren zur Ausnutzung scheibenförmigen Ausgangsmaterials bei der Herstellung optoelektronischer Bauelemente mit Gittern variabler Gitterperiode
摘要
申请公布号 DE19520819(A1) 申请公布日期 1996.12.05
申请号 DE19951020819 申请日期 1995.05.30
申请人 DEUTSCHE TELEKOM AG, 53113 BONN, DE 发明人 HILLMER, HARTMUT, 64287 DARMSTADT, DE
分类号 G02B6/12;G02B6/124;G03F7/20;H01S5/02;H01S5/10;H01S5/12;H01S5/125;(IPC1-7):H01S3/19;H01S3/098;H01L27/144;G02B6/13;G03F1/00 主分类号 G02B6/12
代理机构 代理人
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