发明名称 Einrichtung zur reaktiven Beschichtung
摘要
申请公布号 DE19506513(C2) 申请公布日期 1996.12.05
申请号 DE19951006513 申请日期 1995.02.24
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V., 80636 MUENCHEN, DE 发明人 FRACH, PETER, DR., 01324 DRESDEN, DE;WALDE, HENDRIK, 01219 DRESDEN, DE;GOTTFRIED, CHRISTIAN, 01219 DRESDEN, DE;HOLFELD, ANDREAS, DR., 01187 DRESDEN, DE;GOEDICKE, KLAUS, 01307 DRESDEN, DE
分类号 H01J37/34;(IPC1-7):H05H1/46;C23C14/35 主分类号 H01J37/34
代理机构 代理人
主权项
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