发明名称 SEMICONDUCTOR-PELLET TRANSFER DEVICE AND SEMICONDUCTOR-PELLET BONDING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH08316253(A) 申请公布日期 1996.11.29
申请号 JP19950142353 申请日期 1995.05.18
申请人 TOSHIBA MECHATRONICS KK 发明人 KATAJIMA KATSUHIKO
分类号 H01L21/52;(IPC1-7):H01L21/52 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
主权项
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