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<p>Der auf dem Coriolis-Prinzip basierende mikromechanische Drehratensensor enthält zwei elektrostatisch zu Schwingungen in Gegenphase anzuregende, fluchtend übereinander angeordnete plattenförmige Schwinger (1, 2), die über plattenartige Trägerstrukturen (4a, 4b, 33c, 33d), die durch einen sehr kleinen Antriebskondensatorspalt (30) voneinander getrennt sind, zu Schwingungen angeregt werden. Durch geeignete Wahl der Eigenfrequenz der Trägerstrukturteile lassen sich aufgrund eines wesentlich größeren Abstands der Schwinger (1 und 2) größere Schwingungsamplituden und damit eine hohe Schwingergüte erreichen, die nicht durch den aus Gründen einer guten Anregung bei kleinen Erregerspannungen eng ausgebildeten Antriebskondensatorspalt (30) begrenzt werden. Die beiden Schwingerstrukturen bestehen vorzugsweise jeweils aus zwei elektrisch gegeneinander isolierten gebondeten Teilen, die über Federn (80 bis 83, 80' bis 83') innerhalb eines Rahmens aufgehängt und so gestaltet sind, daß im wesentlichen nur Drehbewegungen der Schwinger möglich sind und lineare Bewegungen der Schwinger in Raumrichtung ±z weitgehend unterdrückt werden.</p> |
