| 发明名称 |
INTERFACE STATE DENSITY MEASUREMENT, INTERFACE STATE DENSITY MEASURING DEVICE AND STANDARD SAMPLE FOR MEASUREMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08316277(A) |
申请公布日期 |
1996.11.29 |
| 申请号 |
JP19950114267 |
申请日期 |
1995.05.12 |
| 申请人 |
HITACHI LTD;HITACHI VLSI ENG CORP |
发明人 |
TAKAHAMA TAKASHI;KISU TERUAKI;NAGARA TAKAMITSU;YOSHIGAMI JIRO;OKURA OSAMU |
| 分类号 |
G01N22/00;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
G01N22/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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