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发明名称
MANUFACTURING METHOD AND APPARATUS FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH08316166(A)
申请公布日期
1996.11.29
申请号
JP19950138608
申请日期
1995.05.12
申请人
NEC CORP
发明人
HANE MASAMI
分类号
H01L29/78;H01L21/265;H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/265
主分类号
H01L29/78
代理机构
代理人
主权项
地址
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