| 发明名称 |
METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08316324(A) |
申请公布日期 |
1996.11.29 |
| 申请号 |
JP19950117080 |
申请日期 |
1995.05.16 |
| 申请人 |
KAWASAKI STEEL CORP |
发明人 |
TAMURA YOSHIMITSU;JINRIKI HIROSHI;OOTA TOMOHIRO |
| 分类号 |
H01L21/82;H01L27/10;(IPC1-7):H01L21/82 |
主分类号 |
H01L21/82 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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