| 发明名称 |
METHOD FOR FORMING SEMICONDUCTOR THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08316145(A) |
申请公布日期 |
1996.11.29 |
| 申请号 |
JP19950114166 |
申请日期 |
1995.05.12 |
| 申请人 |
FUJI ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
SUZUKI TAKESHI;MATSUI TOSHIYUKI;YAMAGUCHI HIROHIDE;KIMURA HIROSHI;KAMIJO HIROSHI |
| 分类号 |
C30B23/08;C30B29/40;H01L21/20;H01L21/203;H01L21/363;(IPC1-7):H01L21/203 |
主分类号 |
C30B23/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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