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发明名称 FORMATION METHOD OF INTERCONNECTION
摘要
申请公布号 JPH08316236(A) 申请公布日期 1996.11.29
申请号 JP19950118602 申请日期 1995.05.17
申请人 FUJITSU LTD 发明人 HIROTA TAKATOSHI
分类号 C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/321;H01L21/306 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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