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发明名称 CONTACT HOLE FORMING METHOD
摘要
申请公布号 JPH08316171(A) 申请公布日期 1996.11.29
申请号 JP19950121395 申请日期 1995.05.19
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 IIZUKA KATSUHIKO
分类号 H01L21/28;H01L21/302;H01L21/306;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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