发明名称 SEMICONDUCTOR WAFER AND SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08316244(A) 申请公布日期 1996.11.29
申请号 JP19950114444 申请日期 1995.05.12
申请人 HITACHI CABLE LTD 发明人 SAKAGUCHI HARUNORI;OTOGI YOUHEI;MEGURO TAKESHI
分类号 H01L21/20;H01L21/338;H01L29/205;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/338 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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