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发明名称 PATTERN FORMATION METHOD
摘要
申请公布号 JPH08316193(A) 申请公布日期 1996.11.29
申请号 JP19950119694 申请日期 1995.05.18
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 SUGAWA TOSHIO;TAKAHASHI MUNEKO;KURAMASU KEIZABURO
分类号 H01L21/306;H03H3/08;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
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