| 发明名称 |
Electrode clamping assembly and method for assembly and use thereof |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU5753296(A) |
申请公布日期 |
1996.11.29 |
| 申请号 |
AU19960057532 |
申请日期 |
1996.05.17 |
| 申请人 |
LAM RESEARCH CORPORATION |
发明人 |
ERIC H. LENZ;MICHAEL L. CALVISI;IVO A. MILLER;ROBERT A. FRAZIER |
| 分类号 |
H05H1/46;H01J37/32;H01L21/302;H01L21/3065 |
主分类号 |
H05H1/46 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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