发明名称 HEAT TREATING FURNACE
摘要
申请公布号 JPH08316157(A) 申请公布日期 1996.11.29
申请号 JP19950123332 申请日期 1995.05.23
申请人 SOUEI TSUSHO KK;SEMITSUKUSU ENG KK 发明人 MAEKAWA SHUNICHI;FUKUNAGA YOICHI
分类号 C30B33/02;C23C16/44;H01L21/205;H01L21/22;H01L21/31;H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/22 主分类号 C30B33/02
代理机构 代理人
主权项
地址