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经营范围
发明名称
HEAT TREATING FURNACE
摘要
申请公布号
JPH08316157(A)
申请公布日期
1996.11.29
申请号
JP19950123332
申请日期
1995.05.23
申请人
SOUEI TSUSHO KK;SEMITSUKUSU ENG KK
发明人
MAEKAWA SHUNICHI;FUKUNAGA YOICHI
分类号
C30B33/02;C23C16/44;H01L21/205;H01L21/22;H01L21/31;H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/22
主分类号
C30B33/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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