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发明名称 METHOD OF PLASMA-ETCHING MULTILAYER INSULATION FILM
摘要
申请公布号 JPH08316209(A) 申请公布日期 1996.11.29
申请号 JP19950122682 申请日期 1995.05.22
申请人 SONY CORP 发明人 TATSUMI TETSUYA
分类号 H01L21/28;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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