| 发明名称 |
METHOD AND SYSTEM FOR PRODUCING SEMICONDUCTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08316365(A) |
申请公布日期 |
1996.11.29 |
| 申请号 |
JP19950121296 |
申请日期 |
1995.05.19 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
TSUTSUMI YASUKI;KURODA HIROSHI;HIDA AKIHIRO;SHIRAI MASAYUKI |
| 分类号 |
H05K3/34;H01L21/60;H01L23/12;(IPC1-7):H01L23/12 |
主分类号 |
H05K3/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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