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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS PRODUCTION
摘要
申请公布号 JPH08316314(A) 申请公布日期 1996.11.29
申请号 JP19950120091 申请日期 1995.05.18
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 SOSHIRO YUUJI
分类号 H01L21/28;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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