发明名称 METHOD FOR FORMING MULTILAYER WIRING
摘要
申请公布号 JPH08316307(A) 申请公布日期 1996.11.29
申请号 JP19950119645 申请日期 1995.05.18
申请人 SUMITOMO METAL IND LTD 发明人 HARADA MUNEO;NAKANISHI TOSHIO
分类号 H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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