| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08316232(A) |
申请公布日期 |
1996.11.29 |
| 申请号 |
JP19950123291 |
申请日期 |
1995.05.23 |
| 申请人 |
MIYAZAKI OKI ELECTRIC CO LTD;OKI ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
MOTOKAWA YOSUKE |
| 分类号 |
H01L21/3205;H01L21/3213;H01L21/336;H01L23/52;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/320;H01L21/321 |
主分类号 |
H01L21/3205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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